RF电源维修 MKS ENI RFOEM－28B射频电源维修

RF电源维修 MKS ENI RFOEM-28B射频电源维修电话 免费检测

上海仰光电子科技有限公司

1、半导体制造、LED光电材料、太阳能、平板显示、汽车电子等行业的离子注入、扩散、光刻、PVD物理气相沉积,CVD 化学气相沉积,PECVD等离子增强化学气象沉积,溅射薄膜、蚀刻 等工艺。

2、 HV PSU高压电源、DC PSU大功率直流电源、RF Generator射频电源、MICROWAVE POWER SOURCEAE微波发生器、触摸屏人机界面、PCB板,涉及设备品牌有AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、 
      Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。

3、维修机台涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80,  Nissin 

       Exceed2000AH、Axcelis/EATON NV6200、PVD、CVD、PECVD、溅射镀膜设备等。
维修品牌:

射频电源:AE、ENI/MKS、AD-TEC、COMDEL、DAIHEN、SEREN、    KYOSAN、VEECO、ULVAC、HUETTINGER、ANELVA

高压电源:Varian、Hitek、Advance Hivolt、 Wallis Hivolt、      Glassman、Spellman、Eaton(axcelis)

直流电源:TDK-Lambda、Sorensen、AE、ENI/MKS、Delta、POWER-TEN/ONE、AMETEK、ADL

微波电源:Muegge、Astex

以及NP、AP射频等离子体电源、RF Match射频匹配器、曝光灯汞灯电源、灯丝电源、UPS电源、X射线电源、Genmark手臂控制器、ESC  HV模块、VAT控制器、chiller冷水机、各品牌伺服驱动器、变频器、触摸屏(人机界面)维修。

开关电源的维修技巧和常见故障

         1.维修技巧

         开关电源的维修可分为两步进行:

         ①断电情况下,“看、闻、问、量”
         看:打开电源的外壳,检查保险丝是否熔断,再观察电源的内部情况,如果发现电源的PCB板上有烧焦处或元件破裂,则应重点检查此处元件及相关电路元 件。资产管理
        闻:闻一下电源内部是否有糊味,检查是否有烧焦的元器件。
        问:问一下电源损坏的经过,是否对电源进行违规操作。
        量:没通电前,用万用表量一下高压电容两端的电压先。如果是开关电源不起振或开关管开路引起的故障,则大多数情况下,高压滤波电容两端的电压未泄放 悼,此电压有300多伏,需小心。用万用表测量AC电源线两端的正反向电阻及电容器充电情况,电阻值不应过低,否则电源内部可能存在短路。电容器应能充放 电。脱开负载,分别测量各组输出端的对地电阻,正常时,表针应有电容器充放电摆动,*指示的应为该路的泄放电阻的阻值。